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中圖儀器VT6000系列3D共焦顯微鏡設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能，以及自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

VT6000系列3D激光共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

中圖儀器VT6000系列3D激光共聚焦形貌顯微鏡結構簡單：儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內(nèi)，亦可采用筆記本電腦驅動，實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設計；是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器VT6000激光共聚焦顯微技術以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

VT6000共聚焦激光顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，主要測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。與傳統(tǒng)光學顯微鏡相比，它具有更高的分辨率，實現(xiàn)多重熒光的同時觀察并可形成清晰的三維圖像等優(yōu)點。

VT6000系列共聚焦3D成像顯微鏡以共聚焦技術為原理，能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。