與傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡相比，激光共聚焦顯微鏡具有更高的分辨率，所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。

中圖儀器VT6000激光共聚焦顯微技術(shù)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

技術(shù)指標(biāo)

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

VT6000激光共聚焦顯微技術(shù)自設(shè)計(jì)之初，便定下了“簡單好用"四字方針的目標(biāo)。

1）結(jié)構(gòu)簡單：儀器整體由一臺輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi)，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設(shè)計(jì)；

2）真彩圖像：配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像，對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)；

3）操作便捷：采用全電動(dòng)化設(shè)計(jì)，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計(jì)風(fēng)格，實(shí)現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果；

4）采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應(yīng)對。

標(biāo)準(zhǔn)配置： 

1)VT6000主機(jī)

2)50×物鏡

3)XY位移載物臺：自動(dòng)位移臺

4)5孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤

5)品牌計(jì)算機(jī)

6)操縱手柄

7)中圖VT6000共聚焦顯微鏡軟件

8)儀器配件箱

9)單刻線臺階高標(biāo)準(zhǔn)塊、超光滑硅標(biāo)準(zhǔn)塊

10)產(chǎn)品使用說明書

11)產(chǎn)品合格證、保修卡

可選配置：

1）測量物鏡（奧林巴斯）：10×、20×、100×

2）載物臺：6寸晶圓吸附平臺、8寸晶圓吸附平臺

3）整機(jī)校準(zhǔn)證書