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VT6000精密共聚焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。它具有直觀(guān)測(cè)量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作。

中圖儀器納米形貌觀(guān)測(cè)掃描電鏡用的鎢燈絲電子槍?zhuān)l(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對(duì)真空度要求不高。緊湊的外型，能夠不受場(chǎng)地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶(hù)甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時(shí)CEM3000也能根據(jù)用戶(hù)需求，輕松移機(jī)，一臺(tái)機(jī)器多處開(kāi)花。

中圖儀器CEM3000高性能復(fù)合抗振系統(tǒng)掃描電鏡采用的鎢燈絲電子槍?zhuān)l(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對(duì)真空度要求不高。標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿(mǎn)足用戶(hù)對(duì)多類(lèi)型樣品的觀(guān)測(cè)需求，實(shí)現(xiàn)微觀(guān)的形貌和元素分析等。

NS系列臺(tái)階高微觀(guān)形貌參數(shù)測(cè)量?jī)x線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級(jí)分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃。能夠測(cè)量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

CEM3000系列桌面式掃描電鏡品牌采用的鎢燈絲電子槍?zhuān)l(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對(duì)真空度要求不高。臺(tái)式電鏡無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶(hù)日常工作的桌面上，在用戶(hù)手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。

中圖儀器一鍵快速成像掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子槍?zhuān)l(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對(duì)真空度要求不高。臺(tái)式電鏡無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶(hù)日常工作的桌面上，在用戶(hù)手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。