SJ6000高性能激光干涉儀采用氦氖激光器作為光源。其精度高，抗干擾能力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車(chē)間條件下測(cè)量大距離用，是高精度線性位移測(cè)量?jī)x器。

測(cè)量方法

進(jìn)行線性測(cè)量的一般步驟 

  （1）安裝設(shè)置激光干涉儀 

  （2）將激光束與被測(cè)量的軸校準(zhǔn) 

  （3）啟動(dòng)測(cè)量軟件，并輸入相關(guān)參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）。 

  （4）在機(jī)床上輸入測(cè)量程序，啟動(dòng)干涉儀測(cè)量，并記錄數(shù)據(jù)。 

  （5）用測(cè)量軟件分析測(cè)量數(shù)據(jù)，生產(chǎn)補(bǔ)償文件。 

  光束快速準(zhǔn)直步驟 

  （1）沿著運(yùn)動(dòng)軸將反射鏡與干涉鏡分開(kāi)。 

  （2）移動(dòng)機(jī)床工作臺(tái)，當(dāng)光束離開(kāi)光靶外圓時(shí)停止移動(dòng)。 

  垂直光束調(diào)整 

  （3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。 

  （4）使用三腳架中心主軸上的高度調(diào)整輪使激光頭上下旋轉(zhuǎn)，直到兩道光束都擊中光靶中心。 

  水平光束調(diào)整 

  （5）用三腳架左后方的小旋鈕，調(diào)整激光頭的角度偏轉(zhuǎn)，使兩道光束彼此重疊。 

  （6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調(diào)整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。 

  （7）沿著運(yùn)動(dòng)軸重新開(kāi)始移動(dòng)機(jī)床工作臺(tái)。在看到光束移開(kāi)光靶時(shí)再次停止。重復(fù)步驟3到6，直到完成整個(gè)軸向的光鏡準(zhǔn)直。 

  （8）達(dá)到軸的末端時(shí)，將機(jī)床移回，使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開(kāi)光閘的光靶，是由于反光鏡側(cè)向偏移所造成。上下左右移動(dòng)反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。 

  重復(fù)步驟1到8，直到兩道光束在整個(gè)運(yùn)動(dòng)軸長(zhǎng)度范圍內(nèi)都保持在光靶的中心。 

  （9）保持光束和測(cè)量軸準(zhǔn)直。將光閘旋轉(zhuǎn)到其測(cè)量位置。當(dāng)反光鏡沿著機(jī)床的整個(gè)運(yùn)動(dòng)長(zhǎng)度移動(dòng)時(shí)，檢查線性數(shù)據(jù)采集軟件中顯示的信號(hào)強(qiáng)度。 

SJ6000高性能激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。