現(xiàn)有的接觸式測量方法和單一的光學(xué)非接觸測量方法在如半導(dǎo)體、納米材料等領(lǐng)域中，難以完成曲率較大或大面形的高反射曲面零件的三維高精度測量。如各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物，其表面質(zhì)量等級(jí)非常高。如果采用接觸式的輪廓儀，會(huì)劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學(xué)影像方法，也沒有辦法克服它的高透明度特性。用光學(xué)干涉原理研制成的中圖儀器的SuperView W1光學(xué)輪廓儀，為玻璃和光學(xué)鏡片的表面質(zhì)量提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

玻璃表面臺(tái)階檢測

透明玻璃表面鍍的一層金屬膜，因?yàn)槠浞峭该魈匦裕∧y厚儀沒有辦法測膜層厚度。況且膜層厚度的精度是在納米級(jí)別的，不管是非接觸式光學(xué)儀器還是接觸式臺(tái)階儀，都存在測量誤差，而中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀的測量精度達(dá)到亞納米級(jí)，可以對(duì)膜層厚度進(jìn)行一鍵測量。

儀器軟件對(duì)重建的3D圖像兩臺(tái)階高的檢測

玻璃屏檢測

生活中智能手機(jī)、平板電腦、智能手表等日常的智能產(chǎn)品中常見的玻璃屏，需要對(duì)其表面粗糙度和輪廓進(jìn)行檢測。以手機(jī)玻璃屏為例：

玻璃屏表面粗糙度檢測

藍(lán)寶石玻璃檢測

藍(lán)寶石有優(yōu)良的物理和化學(xué)特性，常被用于制作成各種光學(xué)元件。其主要成分是氧化鋁（Al?O?），主要用于制成攝像頭保護(hù)鏡、棱鏡、表鏡等，加工出來的藍(lán)寶石玻璃分為雙面拋光和單面拋光兩種，表面粗糙度就是決定了拋光程度（即表面質(zhì)量等級(jí)）的直接因素。

一片單面拋光藍(lán)寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度檢測圖像及數(shù)據(jù)

光學(xué)透鏡檢測

球面透鏡在可見光領(lǐng)域是一種基礎(chǔ)光學(xué)器件，其光的傳播效果受曲率半徑和表面粗糙度的影響，中圖儀器SuperView W1光學(xué)輪廓儀可以對(duì)這兩項(xiàng)參數(shù)同時(shí)進(jìn)行檢測。

某型號(hào)雙膠合透鏡的曲率半徑和表面粗糙度檢測

中圖儀器的SuperView W1光學(xué)3d表面輪廓儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可自動(dòng)聚焦測量工件，獲取2D、3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、面型輪廓、彎曲變形情況等表面三維形貌的一鍵測量。

中圖儀器，堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，從納米級(jí)的微觀形貌檢測到百米級(jí)的大尺寸高精度測量，為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案！